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中南大学旋转PECVD

发布时间:2020-11-20  浏览次数:1225

中南大学程(cheng)老师为了处理碳酸铈(shi)材料,在我公司定制非标准旋转PECVD设备组装完毕(bi)后,进(jin)行(xing)空(kong)载试机,为老师及学生讲解设备功能及使用方(fang)法,测试各项功能均正常后进(jin)行(xing)第一次实验。

装载大约(yue)25克碳酸铈,由于原料含有较大(da)的(de)水(shui)分,开始(shi)抽真空(kong)明显(xian)感觉抽真空(kong)速率及其(qi)缓慢,真空(kong)泵运行将近(jin)一个小时,才能抽至100pa左右在未通氧气的情(qing)况下,一(yi)旦射频开(kai)启(qi),真(zhen)空度会(hui)迅速升高,且(qie)炉(lu)管(guan)内部辉(hui)光为(wei)暗淡(dan)的紫(zi)色(se)(se),且(qie)启(qi)辉(hui)不易稳定,需要较长的时间,通入氧气后会(hui)在炉(lu)管(guan)右(you)端首先反应比较激烈(lie),会(hui)出现爆闪的红光,随着(zhe)反应过程(cheng)的推进,辉(hui)光会(hui)逐(zhu)渐稳定且(qie)向炉(lu)管(guan)左(zuo)侧蔓延(yan),直至充满整(zheng)个(ge)炉(lu)管(guan),且(qie)辉(hui)光颜(yan)色(se)(se)会(hui)逐(zhu)渐由暗紫(zi)色(se)(se)变为(wei)淡(dan)紫(zi)色(se)(se)最终转为(wei)淡(dan)粉色(se)(se),此后颜(yan)色(se)(se)就不再发生变化(hua),真(zhen)空度也会(hui)维持在一(yi)个(ge)很低的水平,一(yi)般(ban)在20pa左右反应(ying)完成后物(wu)料颜色(se)(se)由(you)之前的(de)纯(chun)白色(se)(se)变为米黄色(se)(se)。