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均温氧化扩散炉

发布时间:2020-08-26  浏览次数(shu):1519

 

设备(bei)简介:

均(jun)温氧化扩散炉应用于(yu)半(ban)导体器件、分立器件、光电子器件、电力(li)电子器件、太阳能电池及(ji)大规(gui)模集成电路制(zhi)造等领域对晶(jing)片(pian)进行扩(kuo)散、氧化(hua)、退火、合金及(ji)烧结(jie)等工艺,可用于(yu)2-8英寸工艺尺寸

 

  

配置(zhi)详情


 

设备特点:

1.温场均匀(yun),恒(heng)温区(qu)长度(du)及精度(du):300~1250mm  800~1200℃±1℃

2.具有强大的软件功(gong)能,NBD-101EP嵌入(ru)式操作系统,用户可以方(fang)便地修改工(gong)艺(yi)控制(zhi)参数,并可随时显(xian)示各种工(gong)艺(yi)状态(tai);配有故障自诊断软件; 
3.程序可(ke)以(yi)实现(xian)手(shou)/自动(dong)工作,在(zai)停(ting)(ting)电或中(zhong)途停(ting)(ting)机后,再次启动(dong)可(ke)以(yi)根据工艺手(shou)动(dong)升温,节省工艺时(shi)间(jian); 
4.具有多(duo)种工艺(yi)管路,可供用户(hu)方便(bian)选(xuan)择; 
5.冷(leng)端检测(ce)环(huan)(huan)境温度(du)进行温度(du)补偿,避(bi)免(mian)环(huan)(huan)境温度(du)变化,对炉膛温度(du)产生影响,避(bi)免(mian)层间干扰; 

6.可存储多(duo)组(zu)PID参数供系统运行调用功能,具有(you)多(duo)点温度补偿
7.气体(ti)流量(liang)采(cai)用(yong)数字化精确(que)控(kong)制,采(cai)用(yong)模(mo)拟信(xin)号闭环控(kong)制,强弱电分开,各种(zhong)数据交互采(cai)用(yong)标准总线,提(ti)高抗干扰能力(li),保证数据安全;气体(ti)打开具有缓启动功能; 
8.具有多种报警功(gong)能及安全保护(hu)功(gong)能;
9.恒温区(qu)自动调(diao)整,串级控制(zhi),可准确控制(zhi)反应管的实际工艺温度; 
10.压力自动调整技术,将压力参数引(yin)入晶体硅氧化工(gong)艺(yi),有效(xiao)减(jian)小(xiao)了尾部(bu)排风(feng)对工(gong)艺(yi)的干扰,减(jian)小(xiao)由(you)排风(feng)引(yin)起(qi)的工(gong)艺(yi)波动

可(ke)配工艺管外(wai)径

炉管(guan)外径(jing)152mm   适用于3";炉管(guan)外径(jing)252mm   适用于6";

炉管外径(jing)300mm   适用于8"

温(wen)度控制范(fan)围

300~1150 ℃

恒温区长度(du)及精度(du)

300~1250mm(依客(ke)户要(yao)求(qiu)定)  300~800 ℃±1.5, 800~1100 ℃±1℃

可控升降(jiang)温速率

升温速(su)率:≦15/min  降温速率≦5/min

加热区个数

3区,4区,5区,6区(依(yi)客户要求(qiu)定

送料(liao)方式(shi)

手动送料

冷(leng)却系统

水(shui)冷2-4Kgf/cm2,8L/min;+上接排风(feng)冷≈25m3/min;

轴(zhou)向温场(chang)分布

 

径向温(wen)场分布(bu)

 

控制系(xi)统

 

1.可(ke)预存15条工艺曲线,避免不同的(de)实验工艺重复设置带(dai)来的(de)麻烦;

2.实(shi)验过程(cheng)更加(jia)直观(guan),操作更加(jia)便捷;

3.NBD-101EP嵌入式(shi)操作系(xi)统中英文互换图形(xing)界(jie)面,10寸真彩(cai)触屏输(shu)入,智能式(shi)(shi)人机(ji)对话模式(shi)(shi),非线性式(shi)(shi)样温度修正;

4.具有超温报警、断偶提示、漏(lou)电保护等功能。

加热(re)腔体(ti)

 


采用优质加热丝(si):KANTHAL及HRE

绝热(re)材(cai)料:晶(jing)体(ti)纤(xian)维等

绝缘子:高纯刚玉间距依(yi)据温场调节

端(duan)口过渡(du)环:氧化铝纤维真空成型(xing)。

温区(qu):3段、4段(duan)、5段、6

 

真空(kong)密封系统

 

 

 

真空度:≤10Pa(机械(xie)泵)

供气系统

 

采用质(zhi)子流量计控制气体流速,与设备(bei)集成为一(yi)体

可选配项(xiang)目(mu)

1. 出(chu)料口排毒气柜;

2. 净化(hua)出料(liao)台;

3. 自动石英浆推拉舟机构

设备使用(yong)注意事项(xiang)

1. 装取样片必须带石(shi)棉手套,使用石(shi)英器(qi)件(jian)小心(xin)打碎;

2. 选择合适(shi)的石(shi)英(ying)舟,取出(chu)清洁好的石(shi)英(ying)托板和石(shi)英(ying)拉钩;

3. 安装样片(pian)插入到(dao)石英舟的槽内(nei),用石英拉钩将(jiang)石英舟推(tui)入炉管到(dao)恒(heng)温(wen)区(qu);

4. 炉(lu)管内(nei)压力不得超过0.15MPa(绝(jue)对压力),以防(fang)止压力过大引起危险(xian)

5.高真空下使用时),设备使用温度不得(de)超过1000℃

服务支持

一年(nian)有(you)限保(bao)修,提供终身支持(chi)(保(bao)修范(fan)围(wei)内不(bu)包括易(yi)耗部件,例如炉管(guan)和密(mi)封圈等)

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