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RTP快速退火炉

发布时间(jian):2017-11-15  浏览次数:10026

 


设备简介:

  快(kuai)速退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但拥有非常快(kuai)的(de)升温(wen)速率,而且在烧结(jie)工艺运行完结(jie)后,直接将试(shi)样移(yi)动至室温(wen)下(xia),实现物(wu)理状态(tai)下(xia)的(de)快(kuai)速降温(wen)。设(she)备采用(yong)了内管(guan)进气(qi)、外管(guan)出气(qi)的(de)气(qi)路(lu)结构,使得反应气(qi)氛(fen)与加工样(yang)品(pin)充分而均匀地接触(chu)。退火炉是CVD法生长大(da)尺寸二维石(shi)墨烯(xi)的(de)常用(yong)设(she)备。测温元(yuan)件直接和试样(yang)接触(chu),保证试样(yang)温度的(de)准确性。




 

 

 

 

 



配置详情

1. 双层钢结构;

2. 高(gao)纯度Al2O3纤维(wei)耐火保温材料,最大节约能源;

3. 耐火陶瓷上的高纯度氧(yang)化铝涂层可延长使用寿(shou)命;

4. 氧化铝管塞可帮助(zhu)您在管内建立自(zi)定义的温度(du)梯度(du);

5. 该设(she)备是(shi)国(guo)家(jia)专(zhuan)利保(bao)护产品,专(zhuan)利号:CN201310005931.6。

产品型号

NBD-HR1200-110IT

电气规格

AC380V   15KW

可达温度

1100 ℃(长时间使(shi)用必须外接水冷装置)

连(lian)续温度

1000 ℃ (连续使(shi)用(yong)必(bi)须外接水冷(leng)装置)

可达加热速率

建议≤  100 ℃/S

加热区(qu)长度(du)

200mm

炉管尺寸(cun)

Φ80*120mm

控制系统(tong)

 

1.可预(yu)存15条温度曲(qu)线,避免不同的(de)实(shi)验工(gong)艺重复设置(zhi)带(dai)来(lai)的(de)麻(ma)烦;

2.实验过(guo)程更加直(zhi)观,操作更加便捷(jie);

3.NBD-101E嵌入(ru)式(shi)(shi)操作系统中英(ying)文互换图形界面,7寸真彩触屏输入(ru),智能式(shi)(shi)人机(ji)对话模式(shi)(shi),非线性式(shi)(shi)样温度修正;

4.具(ju)有超温报警、断偶提示、漏电保(bao)护等功能。

温(wen)度(du)精(jing)度(du)

+/- 1 ℃

加热元(yuan)件

 

红外(wai)灯(deng)管加(jia)热

密(mi)封系统

 

 

 

真空度:≤5Pa(机械(xie)泵)

压力(li)测(ce)量(liang)与(yu)监控(kong)

 

采用数显真空计,可使(shi)设备炉管内的(de)真空度显示更加(jia)直(zhi)观,实(shi)验结果更加(jia)准确。

净(jing)重

90KG

设备使用注意(yi)事项

    1. 设(she)备(bei)炉膛(tang)(tang)温(wen)度≥300℃时,移动炉膛(tang)(tang)后,禁止(zhi)触碰原炉膛(tang)(tang)所在位(wei)置的(de)石英(ying)管,避免受到伤害(hai);

2. 设备炉(lu)膛温(wen)度≥300℃时,禁止(zhi)打开(kai)炉(lu)膛,避免受到伤害;

3. 设(she)(she)备使(shi)用(yong)时,炉管内(nei)压力(li)(li)不得超过(guo)0.125MPa(绝对压力(li)(li)),以防止(zhi)压力(li)(li)过(guo)大造成设(she)(she)备损坏;

4. 真(zhen)空(kong)下使用时,设备使用温度不(bu)得超(chao)过800℃。

   5. 供气(qi)钢瓶内部气(qi)压(ya)较高,向炉管内通入气(qi)体时,气(qi)瓶上必须安装减(jian)(jian)压(ya)阀,建议在(zai)选购试验用小压(ya)力减(jian)(jian)压(ya)阀,减(jian)(jian)压(ya)阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使(shi)用(yong)时会更加(jia)精确安全(quan)。

   6.当炉体温(wen)度高于1000℃时,炉管内不可处于(yu)真空(kong)状态(tai),炉管内的(de)气(qi)压需和(he)大气(qi)压 相(xiang)当,保持(chi)在(zai)常压状态(tai);

   7.高纯(chun)石英管(guan)的长时间使用(yong)温(wen)度≦1100℃

   8.加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若绝对压力表(biao)读数大于0.15MPa,必须立刻打(da)开排(pai)气端(duan)阀门,以(yi)防意(yi)外发(fa)生(如炉(lu) 管破裂等)

服务支持

1年质(zhi)保,提(ti)供终身(shen)支持(保修范围内不包(bao)括易耗部件,例如炉管和O形圈等) 


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